Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical discharges in impulse

TOPALA, P.; MELNIC, V.; GUZGAN, D.

dc.contributor.author	TOPALA, P.
dc.contributor.author	MELNIC, V.
dc.contributor.author	GUZGAN, D.
dc.date.accessioned	2020-09-30T14:41:34Z
dc.date.available	2020-09-30T14:41:34Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	TOPALA, P., MELNIC, V., GUZGAN, D. Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical discharges in impulse. In: Fizică şi tehnică: procese, modele, experimente. 2013, nr. 2, pp. 32-36. ISSN 1857-0437.	en_US
dc.identifier.issn	1857-0437
dc.identifier.uri	http://repository.utm.md/handle/5014/10228
dc.description.abstract	The paper presents the results of the theoretical and experimental study of the formation of oxide films on silicon surfaces by means of rapid thermal oxidation in plasma caused by electrical discharges in impulse. The oxidation process has been carried out under normal atmospheric conditions. It has been shown that the properties of the oxide films depend on the processing power as well as the electrode base materials.	en_US
dc.description.abstract	Articolul prezintă rezultatele studiul teoretico-experimental privind formarea peliculelor de oxizi pe suprafeţele din siliciu cu ajutorul oxidării termice rapide în plasma cauzată de descărcările electrice în impuls. Procesul de oxidare a fost obţinut în atmosferă în condiţii normale. Se arată că proprietăţile peliculelor de oxizi depind de puterea disipată pe suprafaţa prelucrată, precum şi de materialul de bază a electrozilor.
dc.language.iso	en	en_US
dc.publisher	Universitatea de Stat „Alecu Russo“ din Bălţi	en_US
dc.rights	Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/	*
dc.subject	pelicule de oxizi	en_US
dc.subject	oxidarea suprafeţelor	en_US
dc.subject	oxidation of silicon surfaces	en_US
dc.subject	oxide films	en_US
dc.title	Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical discharges in impulse	en_US
dc.type	Article	en_US