Procedeu de obţinere a senzorului de ZnO/Al2O3 sensibil la compuşi organici volatili

Abstract

Invenţia se referă la tehnica de măsurare şi monitorizare a mediului ambiant, în special la senzori pe bază de ZnO/Al2O3, destinaţi detectării compuşilor organici volatili. Procedeul, conform invenţiei, constă în depunerea pe un suport de sticlă prin metoda sintezei chimice din soluţii a peliculei de ZnO, tratarea termică în aer la 650 °C timp de 120 min, depunerea ulterioară prin metoda vaporizării termice în vid a peliculei de Al2O3 cu grosimea de 12 nm, depunerea contactelor din aur şi tratarea în câmp de radiaţie gama de la o sursă de Cs-137 timp de 60 s cu un debit al dozei de 6,4 Gy/min a senzorului de ZnO/Al2O3.