IRTUM – Institutional Repository of the Technical University of Moldova

Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев

Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев

НОВИКОВА, Дарья; НАСАКИНА, Елена; КАПЛАН, Михаил; КОНУШКИН, Сергей; СЕРГИЕНКО, Константин; СУДАРЧИКОВА, Мария; КОЛМАКОВ, Алексей; Михаил СЕВОСТЬЯНОВ, Михаил
URI: http://repository.utm.md/handle/5014/16258
Date: 2021

Abstract:

В данной работе представлены результаты исследований закономерности формирования мультислоев титана и тантала при использовании магнетронного распыления и ионной бомбардировки в зависимости от варьируемых технологических параметров, а также определение характеристик полученных материалов.

Show full item record

Files in this item

Icon
Name: Conf_TehStiint_UT ...
Size: 707.8Kb
Format: PDF
View/Open

The following license files are associated with this item:

This item appears in the following Collection(s)

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States

Search DSpace


Browse

My Account