НОВИКОВА, Дарья; НАСАКИНА, Елена; КАПЛАН, Михаил; КОНУШКИН, Сергей; СЕРГИЕНКО, Константин; СУДАРЧИКОВА, Мария; КОЛМАКОВ, Алексей; Михаил СЕВОСТЬЯНОВ, Михаил
(Universitatea Tehnică a Moldovei, 2021)
В данной работе представлены результаты исследований закономерности формирования мультислоев титана и тантала при использовании магнетронного распыления и ионной бомбардировки в зависимости от варьируемых технологических ...