ŞIŞIANU, T.; ŞIŞIANU, S.; LUPAN, O.
(Editura U.T.M., 2004)
În această lucrare se propune tehnologia cu procesare foto-termică rapidă (PFTR) pentru senzori de gaze în baza semiconductorilor oxizi: ZnO, Cu2O şi SiO2. Prin combinarea metodelor chimice de depunere a peliculelor, ...