Vacuummetru termostatic

Abstract

Pentru a îmbunătăţi precizia măsurătorilor în domeniul de presiuni joase, a fost proiectat şi construit un prototip de vacuummetrului termoelectric TVG-2, care include

o unitate electronică şi un traductor - termocuplul TTC-5, al cărui element sensibil este o peliculă subţire electric izolatoare. Circuitele de încălzire şi măsurare se depun pe suprafaţa peliculei prin metode de depunere în vid, iar circuitul de măsurare are forma unei matrice de termocupluri. Pentru a reduce dependenţa de temperatura ambiantă, lângă joncţiunile reci ale matricei de termocupluri este plasat un termistor, iar pe suprafaţa exterioară a carcasei traductorului este înfăşurat un încălzitor cu termostat ohmic. Acest design tehnic a condiţionat posibilitatea extinderii domeniului de presiuni măsurate până la (1 x 10 la -5) mm Hg şi micşorarea erorii de măsurare a presiunilor joase cu vacuummetrul de la 80 la 10%.

To improve the accuracy of measurements in the low pressure region, a prototype of the TVG-2 thermoelectric vacuum gauge has been designed and constructed; it

includes an electronic unit and a TTC-5 thermocouple transducer, the sensitive element of which is a thin electrically insulating film; heating and measuring circuits are deposited on the surface of the film by vacuum deposition methods; the measuring circuit has the form of a thermocouple array. To decrease the dependence on ambient temperature, a thermistor is placed near the cold junctions of the thermocouple array, and an ohmic thermostat heater is wound on the outer surface of the transducer housing. This technical decision has made it possible to expand the range of measured pressures to (1 x 10 to -5) mmHg and decrease the error in measuring low pressures with the vacuum gauge from 80 to 10%.