Micro dispozitiv pe baza peliculei de ZnO:Al

Abstract

Domeniul de cercetare îl constituie aspectele teoretice şi practice ale cercetarii sensorilor de gaze bazate pe pelicule subtiri de ZnO:Al. Scopul lucrrii constă in cercetare proprietatilor gazosensibili si fotoelectrice ale peliculelor subtiri de ZnO:Al. Metodologia cercetarii stiintifice se bazeaza pe adsorbția gazelor pe suprafața peliculelor subțiri de oxid de metal, ceea ce duce la modificări ale conductivității acestora. Noutate si originalitate studiul reacției peliculilor subțiri de oxid de zinc dopat cu aluminiu la radiația ultravioletă va dezvălui posibilitatea utilizării peliculilor din acest material pentru a crea detectoare de radiații ultraviolete. În plus, vor fi efectuate studii de sensibilitate la gaz pentru a determina potențialul utilizării unor pelicule subțiri de oxid de zinc dopat cu aluminiu pentru detectoare de gaze cu concentrație scăzută. se vor efectua studii privind selectivitatea straturilor subtiri ZnO:Al la diferite gaze. Semnificatia teoretica a lucrarii o constituie cercetare a proprietatilor gazosensibili a peliculilor subtiri de ZnO:Al si reactie peliculilor la radiatia ultravioleta. Valoare aplicativa a lucrarii сercetările privind proprietățile sensibile la gaz ale peliculelor subțiri de oxid de zinc dopate cu aluminiu vizează producția în continuare de senzori ieftini, compacti, sensibili la gaz, cu un consum redus de energie, care ar putea fi utilizați în laboratoare și în producție și ca dispozitive portabile la prețuri accesibile.

Область исследования: представляет собой теоретические и практические изучения газочувствительных сенсоров на базе оксида цинка, легированного алюминием. Цель работы заключается в исследовании газочувствительных и фотоэлектрических свойств тонких плёнок оксида цинка, легированного алюминием. Новизна и оригинальность исследование реакции тонких плёнок оксида цинка легированного алюминием на ультрафиолетовое излучение позволит выявить возможность создания детектора ультрафиолетового излучения на базе данного материала. Также будут проведены исследования газочувствительных свойств, для определения потенциала использования тонких плёнок оксида цинка легированного алюминием в качестве газочувствительных сенсоров. Будет проведён анализ селективности плёнок ZnO:Al к различным газам. Теоретическая значимость работы заключается в исследовании газочувствительных свойств тонких пленок ZnO:Al и реакции пленок на ультрафиолетовое излучение. Прикладное значение работы исследование газочувствительных свойств тонких плёнок оксида цинка легированного алюминием направлено на дальнейшее производство дешевых и доступных датчиков с низким энергопотреблением и высокой чувствительностью, которые будут использоваться не только в лабораториях и на производстве но и в качестве доступных портативных устройств.

Research area: represents theoretical and practical studies of gas-sensitive sensors based on aluminum-doped zinc oxide. The purpose of this work is to study the gas-sensitive and photoelectric properties of thin films of zinc oxide doped with aluminum. The novelty and originality of the study of the reaction of thin films of zinc oxide doped with aluminum to ultraviolet radiation will reveal the possibility of creating an ultraviolet radiation detector based on this material. Gas sensing properties will also be investigated to determine the potential of using aluminum doped zinc oxide thin films as gas sensing sensors. An analysis of the selectivity of ZnO:Al films to various gases will be carried out. The theoretical significance of the work lies in the study of the gas sensitive properties of ZnO:Al thin films and the reaction of the films to ultraviolet radiation. The applied value of the work is the study of the gas-sensitive properties of thin films of zinc oxide doped with aluminum aimed at further production of cheap and affordable sensors with low power consumption and high sensitivity, which will be used not only in laboratories and in production, but also as affordable portable devices.