DSpace Repository
Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | ЧЕРНЯВСКИЙ, Антон | |
| dc.contributor.author | ГРАМОВИЧ, Людмила | |
| dc.date.accessioned | 2022-08-08T09:46:16Z | |
| dc.date.available | 2022-08-08T09:46:16Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | ЧЕРНЯВСКИЙ, Антон, ГРАМОВИЧ, Людмила. Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца. In: Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor = Technical Scientific Conference of Undergraduate, Master and PhD Students, Universitatea Tehnică a Moldovei, 29-31 martie 2022. Chișinău, 2022, vol. 1, pp. 261-264. ISBN 978-9975-45-828-3. ISBN 978-9975-45-829-0 (Vol.1). | en_US |
| dc.identifier.isbn | 978-9975-45-828-3 | |
| dc.identifier.isbn | 978-9975-45-829-0 | |
| dc.identifier.uri | http://repository.utm.md/handle/5014/20640 | |
| dc.description.abstract | В данной статье рассматривается способ создания имитационной модели электрического травления путем конструирования специально разработанных масок с помощью движка Unity. В зависимости от нанесенной маски можно предугадать рост пор, согласно данным, полученным в результате исследований и проведения практических экспериментов. В конечном итоге разработка моделирования роста пор при использовании фотолитографических масок разных форм позволит сократить число экспериментальных экспериментов. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | Universitatea Tehnică a Moldovei | en_US |
| dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States | * |
| dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ | * |
| dc.subject | электрическое травление | en_US |
| dc.subject | поры | en_US |
| dc.subject | имитационные модели | en_US |
| dc.title | Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
Files in this item
The following license files are associated with this item:
This item appears in the following Collection(s)
-
Subsecţia Ingineria Sistemelor Biomedicale
BIOMEDICAL SYSTEMS ENGINEERING SUBSECTION
Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States